FJ-110分子泵机组 说明书

商品描述: 
  FJ-110型系列分子泵机组是由F-100/110型系列各性能涡轮分子泵,前级机械泵,隔断放气阀,前级管路、分子泵电源,控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。

FJ-110分子泵机组技术性能:

产品型号

FJ-110

进气口法兰

DN100LF

DN100CF

抽气速率L/S(对空气)

>110

压缩比    N2

          H2

>108

5×102

极限压强(Pa)

6×10-6

6×10-7

排气口法兰

KF25

使用轴承

精密机械轴承

输入电压频率(V/Hz)

220±20/50

环境温度(℃)

0~40

前级泵型号

RVP-4

启动时间(min)

<3

额定工作转数(rpm)

42,300

冷却方式

水冷可风冷

安装方式

任意

重量(公斤)

52

长×宽×高

500×510×685